真空获得设备真空泵简介

4.8.1 设计/工作原理

侧槽高真空泵的工作范围从气压到高真空范围。该泵是侧槽 泵（压力范围 1,000 至 5 hPa，层流）与 Holweck 级（压力 范围 5 至 10-5 hPa，过渡和分子流）。

图 4.20: 侧槽真空泵的工作原理

侧槽真空泵的泵系统（图 4.20）包括一个转子盘 (1)，其 具有分布在外周和环状工作室上的叶片 (2)，以及侧槽 (3)。 侧槽通过断路器 (4) 在某一点收窄至圆盘外形。通过旋转转 子叶片产生的螺旋流从入口流动到出口产生泵送作用。这导 致入口 (5) 和出口 (6) 之间的压差。通过将多个泵级串联连接 可实现较低的极限压力。

在压力在 1 和 20 hPa 之间时，泵离开层流范围，且 Holweck 级负责气体的置换。

为适应侧槽泵级仍然相当高的压力，Holweck 通道在真空侧 很小且间隙很窄。在吸入侧使用较大的通道横截面，以提高 抽速。